線形モーターはクリーンルームに適していますか？

線形モーターは、ボールスクリュー駆動の線形モジュールよりもクリーンルームに適しています。多くのフロントエンド半導体アプリケーションは、リニアモーターを使用しています。ウェーハの製造工場では、高精度のリソグラフィマシンがクラス10のクリーンルームに配置されており、線形モーターはナノメートル解像度を使用してサブミクロンの精度を実現するXYポジショニングプラットフォームに適用されます。

線形モーターは、他のフィールド、半導体のバックエンドパッケージ、テスト、アセンブリ、ハードディスクおよびその他のアプリケーションのテストでも使用されます。クリーンルームでは、従来のボールスクリュードライブと比較して、線形モーターのドライブメカニズムに直接接触していないため、粒子生成につながる摩耗や裂傷はなく、線形モーターはクリーンルームに適しています。